Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine
Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine
Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine
Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine

Vaakummagnetroni pihustuskatmismasin

Küsi pakkumist

Räägime nüüd

Toote tutvustus

Vaakummagnetroni pihustuskatmismasin

Spetsifikatsioon

TOB-1100X-SPC-16M magnetroni pihustuskatja kasutab pihustusefekti, mis tekib sihtmaterjali osakeste pommitamisel vaakumkeskkonnas, mis paneb sihtmaterjali aatomid või molekulid tahkelt pinnalt välja paiskuma, ja aluspinnale kantakse õhukese kile moodustamise protsess. Kuulub õhukese kihi tehnoloogia füüsikalise aurustamise-sadestamise (PVD) ettevalmistamisse. TOB-1100X-SPC-16M magnetron-pihustuskatteseadet saab kasutada skaneeriva elektronmikroskoobi proovide valmistamiseks laboris ning seadme kompaktne suurus säästab ruumi laboris; toiming on lihtne ja sobib kasutamiseks ka algajatele.

Funktsioonid

See on varustatud vaakummõõturi ja pihustusvoolumõõturiga, mis suudab tööolekut reaalajas jälgida.
Reguleerides pihustusvoolu regulaatorit ja mikrovaakumgaasiklappi, juhib see vaakumkambri rõhku, ionisatsioonivoolu ja valib parima katteefekti saavutamiseks vajaliku ionisatsioonigaasi.
Kellakorpuse serval olev kummist tihendusrõngas on spetsiaalselt loodud tagama, et klaasist kellakorpus ei puruneks pikaajalisel kasutamisel.
Keraamilise tihendiga kõrgepingeelektroodide liitmikud on vastupidavamad kui tavaliselt kasutatavad kummitihendid.
Vastavalt gaasi ionisatsiooniomadustele elektriväljas kasutatakse pommitava kihi ühtlasemaks ja puhtamaks muutmiseks suure võimsusega pihustusvaakumkambrit ja vastavat pihustusobjekti ala.
Pihustuspea kasutab Peltieri jahutustehnoloogiat, et saada suure jõudlusega peenosakestega katteid.
Saadaval on vesijahutusega pihustuspead ja vesijahutusega kandelauad.

tootenimi	Vaakummagnetroni pihustuskatmismasin
Toote mudel	TOB-1100X-SPC-16M
Paigaldusseisund	Seda seadet tuleb kasutada kuni 1000 m kõrgusel, temperatuuril 25 kraadi ± 15 kraadi ja õhuniiskusel 55%Rh±10%Rh. 1. vesi: seadmed peavad olema varustatud valikulise isetsirkuleeriva jahutusvee masinaga (täites puhast vett või deioniseeritud vett) 2. elekter: AC220V 50Hz, peab olema hea maandusega 3. gaas: seadme kamber, mis tuleb täita argooniga (puhtus 99,99% või rohkem), peab olema varustatud oma argoongaasiballooniga (rõhu alandamise ventiiliga) 4. Töölaud: mõõdud 600mm×600mm×700mm, kandevõime 50kg või rohkem. 5. Ventilatsiooniseade: pole vajalik
Peamine parameeter	1. Sihtmärk: Ø50mm
	2. Vaakumkamber: Ø160mm×120mm
	3. vaakumi aste: väiksem või võrdne 4×10-2mbar
	4, maksimaalne vool: 50mA (valikuline 100mA)
	5. Piiraja saab määrata: 9999s
	6. Mikrovaakumventiil: Ühendage Ø3mm voolik
	7. piirpinge: 1600V DC
	8. mehaaniline pump: 2L/s
	9. Sihtmaterjal: Suuruse nõue: φ50mm×(0.1-0.5)mm (paksus) Sobib Au, Ag, Cu ja muude metallide pihustamiseks (saadaval meie ettevõttes)
	10. Suurus: 360mm×300mm×380mm Üldkaal: 50Kg, Netokaal: 15Kg