Kindalaekas ja vaakumkatmismasin

Mudel: TOB-GB-ZK

Rakendus

Seda kasutatakse peamiselt eksperimentaalseteks uuringuteks ja päikesepatareide perovskite, OLED-i ja PLED-i, pooljuhtide ettevalmistamiseks ja nii edasi.

Tööpõhimõte

See süsteem on integreeritud vaakumkattesüsteemi ja kindalaeka süsteemiga, mis suudab õhukese kile aurustumist kõrgvaakumiga aurustuskambris lõpule viia ning pärast aurustamist proove säilitada, valmistada ja testida kindalaekas kõrge puhtusastmega inertgaasi atmosfääris.

Eelised

Aurustuskatte ja kindalaeka kombinatsioon realiseerib aurustamise, pakendamise, katsetamise ja muude protsesside täielikult suletud tootmise, nii et kogu kile kasvatamise ja seadme ettevalmistamise protsess on täielikult integreeritud terviklikku kontrollitavasse keskkonna atmosfääri süsteemi, kõrvaldades ebastabiilsete tegurite mõju. atmosfäärikeskkonnas orgaaniliste suure pindalaga ahelate valmistamisel ning suure jõudlusega, suure pindalaga orgaaniliste optoelektrooniliste seadmete ja ahelate valmistamise tagamisel.

Mitmekülgne magnetroni pihustuskattesüsteem

Peamised rakendused

Seda kasutatakse mitmesuguste erivajadustega metallkilede, pooljuhtkilede, dielektriliste kilede, magnetronkilede, optiliste kilede, ülijuhtkilede, sensorkilede ja funktsionaalkilede valmistamiseks.