PECVD ahi

1. Tüüp: 1200 kraadi liugur-tüüpi kahetsooniline PECVD-süsteem
2.Faasi number: ühefaasiline
3. Termopaari tüüp: K tüüp
4. Mudel: TOB-DSP-1200 kraad -PECVD
5.MOQ:1 komplekt

Küsi pakkumist

Räägime nüüd

Toote tutvustus

1200 kraadi liuguri tüüpi kahetsooniline PECVD süsteem

Spetsifikatsioon

Mudel	TOB-DSP-1200 kraadi -PECVD-I	TOB-DSP-1200 kraadi -PECVD-II		TOB-DSP-1200 kraadi -PECVD-III	TOB-DSP-1200 kraadi -PECVD-IV
Võimsus	3 kW	3 kW		4KW	4KW
Ahju toru suurus (mm)	Läbimõõt 60(OD) X1800mm	Läbimõõt 80 (OD) X 1800 mm		Läbimõõt 100 (OD) X 1800 mm	Läbimõõt 120 (OD) X 1800 mm
Mõõtmed	1800X410X610	1800X410X610		1800X460X660	1800X460X660
Toiteallika pinge	220V
Faasi number	Üksik faas
Juhtimisrežiim	Judiani temperatuuri kontroll 30 sektsiooni saab kasutada ainult PID temperatuuri reguleerimist. FP93 temperatuuri kontroll (Jaapanist) (Asenda imporditud instrumendid, lisatasu eest) 1,40 sektsiooni programmi temperatuuri reguleerimise saab jagada 4, 2, 1 rühmaprogrammiks, kui programm on jagatud nelja rühma, iga programmi segment 10, 2,6 rühma PID juhtimine, madala, keskmise ja kõrge temperatuuriga saab igaüks koos PID komplektiga, nii et iga segment on võimeline temperatuuri kontrollima, on väga täpne.
Temperatuuri reguleerimise režiim	Intelligentne PID
Läbipõlemiskaitse ja ekraan	Jah
Kaitse ülekuumenemise eest	Jah
Ülevoolukaitse	Jah
Kontrolli täpsus	+/- 1 kraadi
Päästik	Faasi nihke päästik
SCR	106 / 16E Saksamaa Simon Kang
1,2 temperatuuritsooni maksimaalne temperatuur	1200 kraadi
Temperatuuritsoon 1,2 Nimitemperatuur	1150 kraadi
Küttekiirus	Vähem kui 30 kraadi / min või sellega võrdne (saadaval nõudmisel muutmiseks)
Soovitatav küttekiirus	Väiksem või võrdne 15 kraadi / min
Termopaari tüüp	K tüüp
1,2 temperatuuritsooni küttepikkus	205 mm
Ümbritseva pinna temperatuur	Vähem kui 45 kraadi või sellega võrdne
Plasma RF võimsus	Väljundvõimsuse vahemik		0-500W
	Maksimaalne peegeldunud võimsus		10W
	Signaali sagedus		13,56 MHz ± 0,005%
	Müra		<30 dB
	Õhkjahutus		jahutusmeetod
	Sisendvõimsus		208-240V 50 / 60 HZ
GX toitesüsteemi peamised parameetrid	Standardne vahemik		Prootonivoolu kontroller 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (saate valida mis tahes skaala)
	Täpsus		± 1.5%
	Rõhulangus		<0.01MPa
	Korratavus		± 0.2% F.S
	Max Töörõhk		3 MP
VS-0.1 väljalaskesüsteem	toiteallikas		220V / 380V 380W
	Pumpamiskiirus		2L / S
	Takistuse vaakummõõtur		ZDR-I
	Vaakumi mõõtmise vahemik		0.1-10 5 Pa
	Vaakumpump		VRD-8
	Gofreeritud toru		KF25X1000mm
	Vaakumsüsteem		10 -1Pa